.png)
■操作性·功能
●射頻13.56Mhz0-300W高功率機(jī)型，發(fā)生器自動(dòng)匹配，無需調(diào)節(jié)反射波，進(jìn)一步增加的操作的便捷性。
●標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)字式皮拉尼傳感器，實(shí)時(shí)顯示真空度，使得控制更為精確。
●平行平板腔體非常適合于實(shí)驗(yàn)室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無需擔(dān)憂因?yàn)榍惑w材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?nbsp;
■ 保護(hù)
●裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報(bào)警燈，可實(shí)時(shí)監(jiān)測和了解機(jī)器的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。
●裝載有過電流漏電保護(hù)開關(guān)、自診斷回路、異常時(shí)蜂鳴器報(bào)警等 功能。
■產(chǎn)品優(yōu)勢
●等離子清洗機(jī)清洗效果好，清洗效率高，功率大，應(yīng)用范圍廣。
●對清洗樣品，沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達(dá)到常溫處理。
● 電極
● 電極和托盤結(jié)構(gòu)， 樣品可得到 有效的清洗。
日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)PDC210
雅馬拓產(chǎn)品報(bào)價(jià)：0.00
適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗機(jī)。
| 屬性 | 參數(shù) |
| 型號 | PDC210 |
| 等離子模式 | RIE（ DP模式選配） |
| 電極構(gòu)造 | 平行平板（固定） |
| 高頻輸出 | Max500W |
| 頻率 | 13.56MHz |
| 控制?顯示 | 液晶觸摸屏 |
| 反應(yīng)室尺寸 | W400 x D250 x H150mm |
| 電極尺寸 | W250xD170mm |
| 反應(yīng)室材質(zhì) | 鋁 |
| 反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)（Ar、O2） |
| 填充氣體 | N2或干燥空氣 |
| 反應(yīng)氣體流量控制 | 聚合控制器 |
| 真空泵 | 油泵（約345L/分）標(biāo)配 |
| 氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè) |
| 外形尺寸 | W540 x D600 x H600mm |
| 重量 | 約 105kg |
| 電源 | 三相AC200V6A |
公司動(dòng)態(tài)
促銷信息
- 武漢分公司參展2023華中儀器展
- 東南儀誠售后維護(hù)服務(wù)月——石家莊、武漢、廣州站
- 廣州東南儀誠參展廣州國際分析測試及實(shí)驗(yàn)室設(shè)備展
- 加強(qiáng)實(shí)驗(yàn)室安全經(jīng)費(fèi)設(shè)施保障，教育部公布最新《高等
- 如何選購合適的丁腈手套，SIMPLAB帶您了解
- 東南儀誠開學(xué)季促銷活動(dòng)-eppendorf & lavibe通用
- 開工大吉 | 實(shí)干篤行啟新程，攜手共進(jìn)譜新篇
- 奧豪斯 OHAUS 新一代便攜式電子天平來了，活動(dòng)好禮
- 東南儀誠雙11實(shí)驗(yàn)器材回饋，有禮品免費(fèi)申領(lǐng)！
- 奧豪斯OHAUS水分測定儀MB23使用指南